Виготовлення Ti-Al-Si-B-N плівок методом магнетронного розпилення і вивчення їх механічних властивостей

  
І.О.Подчерняєва,
  
І.І.Тимофєєва,
 
О.О.Бутенко
 

Інститут проблем матеріалознавства ім. І. М. Францевича НАН України , вул. Омеляна Пріцака, 3, Київ, 03142, Україна
Порошкова металургія та металокераміка, 2016, Т.53, #5-6
http://www.materials.kiev.ua/article/1642

Анотація

Плівки Ti-Al-Si-B-N осаджувались шляхом магнетронного розпилення композитної мішені Ti-Al-Si-B-N в аргонової плазмі. Структура і фазовий склад плівок досліджувалися методом рентгенівської дифракції. Хімічні зв`язки в плівках були досліджені методом рентгенівської фотоелектронної спектроскопії. Вплив вакуумного відпалу на плівковій структури, твердість і механічні властивості були проаналізовані. Плівки, осаджені при температурах в діапазоні 200-500 ° C і напрузі зміщення від 0 ... -250 демонструють аморфну структуру, яка була збережена при відпалі до 800 ° С. При більш високих температурах відпалу, почали формуватися нанокристалічні фази. Відпал також призводить до збільшення твердості і поліпшення механічних характеристик плівок.


МАГНЕТРОННЕ РОЗПИЛЕННЯ, МЕХАНІЧНІ ВЛАСТИВОСТІ, МЕХАНІЧНІ ХАРАКТЕРИСТИКИ