Конференції

ВПЛИВ СКЛАДУ ГАЗОВОЇ СУМІШІ N2-AR НА ВЛАСТИВОСТІ NB –SI – NI ПЛІВОК, ОТРИМАНИХ ЗА ДОПОМОГОЮ ДУАЛЬНОГО МАГНЕТРОННОГО РОЗПИЛЕННЯ

   
О.К.Синельниченко,
 
О.C.Литвин,
 
О.О.Бутенко,
 
І.І.Тимофєєва,
 
С.М.Дуб,
 
А.І.Кузьмічов
 

Інститут проблем матеріалознавства ім. І. М. Францевича НАН України , вул. Кржижановського 3, Київ, 03142, Україна
Праці V- Міжнародної Самсоновської конференції «Матеріалознавство тугоплавких з´єднань і композитів», Київ, Україна, 24-25 травня, 2016
http://www.materials.kiev.ua/article/2281

Анотація

Методом несбалансированного дуального магнетронного распыления получены нанокомпозитные пленки на основе Nb-Si-N. Установлено, что Nb-Si-N пленки имеют структуру нанокомпозита и представляют собой совокупность δ-NbNx нанокристаллитов, погруженных в аморфную Si3N4 ткань (nc-δ-NbNx/a-Si3N4). Исследование влияния состава газовой смеси N2-Ar на свойства Nb-Si-N пленок показало, что с увеличением потока азота размер нанокристаллитов δ-NbNx, оцененный по формуле Шеррера, уменьшался от 19.34 нм до 4 нм. Пленки становятся более аморфными. Кроме того, увеличение соотношения скоростей потоков азота и аргона (k = FN2/FAr) приводит к уменьшению механических свойств (нанотвердости и модуля упругости), шероховатость поверхности пленок растет. Максимальная твердость и модуль упругости пленок, полученных методом несбалансированного дуального магнетронного распыления достигала 35 ГПа и 350 ГПа соответственно. При увеличении потока азота эти характеристики уменьшались до 25 ГПа и 250 ГПа соответственно.


МЕТОД ДУАЛЬНОГО МАГНЕТРОННОГО РОЗПИЛЕННЯ, МОДУЛІ ПРУЖНОСТІ, НАНОКОМПОЗИТНІ ПЛІВКИ НА ОСНОВІ NB-SI-N, НАНОТВЕРДІСТЬ