Вплив водню на структурні характеристики нитковидних кристалів карбіду кремнію, одержуваних методом парогазового синтезу

 
А.М.Шлапак,
      

Інститут проблем матеріалознавства ім. І. М. Францевича НАН України , вул. Омеляна Пріцака, 3, Київ, 03142, Україна
Електронна мікроскопія і міцність матеріалів - Київ: ІПМ ім.І.М.Францевича НАН України, 2019, #25
http://www.materials.kiev.ua/article/2903

Анотація

Розглянуто результати атестації структури, кристаломорфології та фазового складу трьох різновидів зразків у формі нитковидних кристалів карбіду кремнію, синтезованого із парогазової суміші складу CH3SiCl3 + H2. Зразки одержано в одних і тих самих умовах (за температури 1300 оС), але за різної концентрації водню в потоці реакційної суміші. Структурні дослідження виконано методом просвічуючої електронної мікроскопії в поєднанні з мікродифракцією та інфрачервоною спектроскопією (ІЧ). Встановлено, що зростання концентрації водню в реакційній суміші сприяє формуванню нитковидних кристалів з мікроструктурою типу ядро―оболонка. У цьому випадку ядром являється нитка карбіду кремнію кубічної модифікації, а оболонка представляє собою оксид кремнію. Мікродифракційними дослідженнями в поєднанні з ІЧ-вивченням виявлено, що оболонка нитковидних кристалів має склад SiОх та знаходиться в аморфному стані. Повний текст


ВОДЕНЬ, КАРБІД КРЕМНІЮ, НИТКИ, ОГРАНКА, СИНТЕЗ, ЯДРО―ОБОЛОНКА