ВПЛИВ СТЕХІОМЕТРІЇ ДІОКСИДУ ЦИРКОНІЮ НА МОРФОЛОГІЮ НАНЕСЕНИХ НА ЙОГО ПОВЕРХНЮ ТОНКИХ МЕТАЛЕВИХ ПЛІВОК ПІСЛЯ ВІДПАЛУ У ВАКУУМІ 

 
Б.Д. Костюк,
 
Т.В.Сидоренко,
  

Інститут проблем матеріалознавства ім. І. М. Францевича НАН України , вул. Омеляна Пріцака, 3, Київ, 03142, Україна
avdu@ukr.net
Порошкова металургія - Київ: ІПМ ім.І.М.Францевича НАН України, 2021, #03/04
http://www.materials.kiev.ua/article/3215

Анотація

Тонкі металеві плівки, нанесені на поверхню неметалевого матеріалу, можуть фрагментуватися при нагріванні, і чим вища адгезія в контактній парі, тим менша тенденція до фрагментації. Діоксид цирконію здатен втрачати кисень і утворювати нестехіометричні фази, що може впливати на адгезію діоксиду цирконію до металу. Вивчено вплив стехіометрії діоксиду цирконію на його взаємодію з тонкими металевими плівками. Платинові, паладієві, нікелеві та мідні плівки товщиною 100 нм наносили на поверхню підкладок зі стехіометричного (ZrO2) та нестехіометричного (ZrO2–x) діоксиду цирконію електронно-променевим методом. Отримані монокристалічні зразки з металевими плівками відпалювали у вакуумі при температурах, на 30–10% нижчих за температури плавлення нанесених металів за абсолютною шкалою. Поверхні відпалених зразків вивчали на оптичному мікроскопі. Встановлено, що на підкладках з ZrO2 металеві плівки фрагментовані, а з підкладками ZrO2–x метали взаємодіють, утворюючи однорідні нові фази. Взаємодія плівки нікелю з підкладкою ZrO2–x відбувалася при нижчій температурі, ніж фрагментація плівки нікелю на ZrO2. Після відпалу при 700 °С плівка міді на ZrO2–x утворює текстуру, в якій є ділянки з фрагментованим і рівномірним покриттям. Імовірно, надлишок цирконію в ZrO2–x взаємодіє з мідною плівкою, і стехіометрія оксиду локально відновлюється поблизу поверхні; тому мідна плівка в сусідніх областях контактує вже зі стехіометричним діоксидом цирконію та фрагментується. Отже, як і очікувалось, стехіометрія діоксиду цирконію впливає на морфологію нанесених на нього тонких металевих плівок після відпалу: метали покриття взаємодіють з нестехіометричним діоксидом цирконію, це забезпечує адгезію в контактній парі, запобігаючи фрагментації плівок, яка спостерігається в аналогічних умовах на стехіометричному діоксиді цирконію.


ДІОКСИД ЦИРКОНІЮ, СТЕХІОМЕТРІЯ, ТОНКІ МЕТАЛЕВІ ПЛІВКИ