Структурні і механічні властивості TiN/BCN покриттів

 
І.І.Тимофєєва,
 
О.О.Бутенко,
   
С.Н.Дуб
 

Інститут проблем матеріалознавства ім. І. М. Францевича НАН України , вул. Омеляна Пріцака, 3, Київ, 03142, Україна
Порошкова металургія і металокераміка, 2016, #52
http://www.materials.kiev.ua/article/1636

Анотація

Одношаров TiN і а-BCN і наношарові TiN / BCN покриття осаджені за допомогою DC магнетронного розпилення. Вивчено вплив потужності розряду, швидкості потоку газів, а також напруги зміщення на підкладці на механічні властивості напилених покриттів. Проаналізовані структура, хімічний зв’язок, механічні властивості, адгезія, і коефіцієнт тертя покриттів. Встановлено, що осаджене наношарове покриття має структуру nc-TiNx/a-BNO+a-C .Твердість за Кнупом наношарових TiN / BCN покриттів може досягати в середньому 45 ГПа . Нанотвердость покриттів нижче, ніж твердість за Кнупом (на 20-30%). Отримані наношарові покриття можуть бути рекомендовані в якості зносостійких і захисних покриттів для машинобудування.


АДГЕЗІЯ, ЗНОСОСТІЙКЕ ПОКРИТТЯ, КОЕФІЦІЄНТ ТЕРТЯ, МАГНЕТРОННЕ РОЗПИЛЕННЯ, МЕХАНІЧНІ ВЛАСТИВОСТІ, НАНОШАРОВІ ПОКРИТТЯ