Конференції

Отримання та дослідження нанокомпозитних плівок на основі TiN/SiN

   
О.О.Бутенко,
 
С.Н.Дуб,
  
І.І.Тимофєєва
 

Інститут проблем матеріалознавства ім. І. М. Францевича НАН України , вул. Кржижановського 3, Київ, 03142, Україна
Наноструктурне матеріалознавство - Київ: ІПМ ім.І.М.Францевича НАН України, 2014, #3-4
http://www.materials.kiev.ua/article/1647

Анотація

Методом дуального магнетронного розпилення отримано моношаруваті TiN і a-BCN та наношаруваті TiN/BСN-покриття. Проведено порівняльне вивчення впливу потужності розряду на керамічній мішені, швидкості потоку реагентів і потенціалу зміщення на підкладці на механічні властивості наношаруватих покриттів. Досліджено структуру, хімічні зв'язки, механічні властивості, адгезію і коефіцієнт тертя покриттів. Встановлено, що осаджені наношаруваті покриття мають структуру nc-TiNx/a-BNO+a-C. Показано, що твердість за Кнупом наношаруватих TiN/BСN-покриттів досягає в середньому 45 ГПа. Нанотвердість покриттів нижча від твердості за Кнупом в середньому на 20–30%. Отримані наношаруваті покриття можна пропонувати для використання в якості захисних і зміцнювальних зносостійких покриттів в машинобудуванні.


АДГЕЗІЯ, ЗНОСОСТІЙКЕ ПОКРИТТЯ, КОЕФІЦІЄНТ ТЕРТЯ, МАГНЕТРОННЕ РОЗПИЛЕННЯ, МЕХАНІЧНІ ВЛАСТИВОСТІ, НАНОШАРУВАТЕ ПОКРИТТЯ