Конференції

Вплив відпалу на структуру і механічні властивості плазмохімічних Si-C-N плівок з гексаметілдісілазану

   
С.Н.Дуб,
 
В.А.Мороженко,
 
І.І.Тимофєєва,
 
І.О.Косско
 

Інститут проблем матеріалознавства ім. І. М. Францевича НАН України , вул. Кржижановського 3, Київ, 03142, Україна
Наноструктурне матеріалознавство - Київ: ІПМ ім.І.М.Францевича НАН України, 2010, #2
http://www.materials.kiev.ua/article/1655

Анотація

У роботі досліджено вплив відпалу за температур 600, 800 та 1000 °С на структуру й механічні властивості плівок SіCN, отриманих методом осадження з гексаметілдісілазану. Установлено, що аморфність плівок карбонітриду кремнію зберігається до 1000 °С. Вивчення нанотвердості плівок, осаджених на монокристалічний кремній, показало, що з підвищенням температури відпалу відбувається незначне зниження нанотвердості (на 10%) і модуля пружності (на 5%). Дослідження характеру міжатомної взаємодії методом інфрачервоної спектроскопії свідчить про ефузію водню при температурах відпалу, вищих за 600 °С. Із підвищенням температури відпалу до 1000 °С окиснення плівок посилююється. Трибологічні випробування з використанням пірамідки Віккерса показали зниження коефіцієнта тертя при підвищенні температури відпалу.


ВІДПАЛ, ГЕКСАМЕТИЛДІСИЛАЗАН, КОЕФІЦІЄНТ ТЕРТЯ, МЕХАНІЧНІ ВЛАСТИВОСТІ, СТРУКТУРА ПЛІВКИ