Конференції

Синтез плівок TiO2 методом хімічного газофазного осадження та їх властивості

 
Д.Б.Данько,
 
О.М.Шлапак,
   

Інститут проблем матеріалознавства ім. І. М. Францевича НАН України , вул. Кржижановського 3, Київ, 03142, Україна
Електронна мікроскопія і міцність матеріалів - Київ: ІПМ ім.І.М.Францевича НАН України, 2008, #15
http://www.materials.kiev.ua/article/333

Анотація

Проведено дослідження процесу синтезу тонких плівок ТіО2 методом хімічного газофазного осадження. Рентгенографічні дослідження показали, що плівки, синтезовані при температурах 500 оС і вище, є кристалічними і мають структуру рутилу. Встановлено, що зарядовий стан атомів титану у зразку TiO?Ni (Тсинтезу = 600 оС) такий же, як у чистому диоксиді титану, а у зразку, синтезованому при 500 оС, енергія зв’язку Ті2р-електронів дещо менша. Отже, вказаний зразок містить суміш диоксиду титану та незначні домішки нестехіометричного оксиду титану. Встановлено, що температура синтезу впливає на структуру поверхні. Показано, що кращі фотоелектрохімічні властивості мають плівки зі структурою рутилу та з розвиненою поверхнею


ГАЗОФАЗНЕ ОСАДЖЕННЯ, ПЛІВКИ, СИНТЕЗ ПЛІВОК TIO2, ФОТОЕЛЕКТРОХІМІЧНІ ВЛАСТИВОСТІ