Sections
Personal tools

Наші Координати: Україна, 03142, м.Київ, вул. Кржижановського, 3 | тел: +380(44)390-87-51, +380(44)390-87-57 | факс: +380(44)390-87-51

ТЕХНОЛОГІЇ ТЕРМІЧНОЇ АКТИВАЦІЇ ФАЗОВОГО СКЛАДУ І ФОРМУВАННЯ СТРУКТУРИ НАНОРОЗМІРНИХ ПЛІВОК Co–Sb

Шкарбан Р.А., Пересунко Я.С., Павлова О.П., Сидоренко С.І., Чік А., Макагон Ю.Н.


Посилання: http://www.materials.kiev.ua/article/2075

Досліджено формування фазового складу і структури в нанорозмірних плівках CoSbх (30 нм) (1,82 ≤ х ≤ 4,16), осаджених методом молекулярно-променевої епітаксії на підкладки окисленого монокристалічного кремнію при температурі 200 °С і подальшої термічної обробки у вакуумі в інтервалі температур 300–700 °С. Встановлено, що плівки після осадження знаходяться в полікристалічному стані без текстури. Зі збільшенням вмісту Sb в плівках формування фазового складу відбувається в тій же послідовності, як це передбачається діаграмою фазової рівноваги для масивного стану системи Co–Sb. При відпалі у вакуумі при температурах вище 450–500°С відбувається сублімація не тільки кристалічної фази Sb, а і сурми із антимонідів, що відображується в зміні фазового складу за наступними хімічними реакціями: CoSb2formula130 Sb↑ = CoSb, CoSb3 formula130Sb↑= CoSb2, CoSb3 + Sb↑formula130 CoSb3. Це призводить до збільшення кількості фаз СоSb та СоSb2 й зменшення кількості СоSb3. Плівки складу CoSbx (30 нм) (1,8 < х < 4,16) термостабільні до температури ~350°С.

 


НАНОРОЗМІРНА ПЛІВКА, СКУТТЕРУДИТ COSB3, СУБЛІМАЦІЯ, ФАЗОВІ ПЕРЕТВОРЕННЯ

Порошкова металургія - Київ: ІПМ ім.І.М.Францевича НАН України, 2015 , #11/12 , C.130-138


Українське матеріалознавче товариство Українська технологічна платформа Штаб Цивільного Захисту НАН України Базовий координаційний центр УНГ Офіційний Web-портал Верховної Ради України Курсы валют Перевод онлайн