Структурно-фазовий склад в нанорозмірних плівкових композиціях CoSb1,82-5,45 (ЗО нм)—SiO2 (100 нм)—Si (001) після осадження і після відпалів

Ю.М.Макогон,
 
О.П.Павлова,
 
С.І.Сидоренко,
 
Г.Бєддіс,
 
М.Даніель,
 
Т.І.Вербицька,
 
Р.А.Шкарбань,
 
С.Є.Богданов
 

Сучасні проблеми фізичного матеріалознавства - Київ: ІПМ ім.І.М.Францевича НАН України, 2010, #19
http://www.materials.kiev.ua/article/2034

Анотація

Методами фізичного матеріалознавства встановлено, що формування кристалічної скутерудитної фази CoSb3 в нанорозмірній плівковій композиції (НПК) CoSb1,82-5,45 (ЗО нм)—SiO2 (100 нм)—Si (001) відбувається при осадженні на підкладку, нагріту вище 200 °С, і вмісті Sb більше 72% (am.), що менше, чим маємо із діаграми фазової рівноваги для масивного стану системи Co-Sb. Формування антимоніди CoSb3 в НПК, осаджених на підкладку при кімнатній температурі, відбувається в інтервалі концентрацій Sb від 73,9 до 82,7% (am.) і при відпалах в інтервалі температур 200—500 °С.


АНТИМОНІД, ВІДПАЛ, НАНОРОЗМІРНА ПЛІВКОВА КОМПОЗИЦІЯ, СКУТЕРУДИТ, ТЕРМОЕЛЕКТРИЧНА ЕФЕКТИВНІСТЬ, ФАЗА