ОТРИМАННЯ НЕЛЕГОВАНИХ ТА ЛЕГОВАНИХ ЕРБІЄМ ТОНКИХ ПЛІВОК ОКСИДУ ІТРІЮ МЕТОДОМ ЕЛЕКТРОННО-ПРОМЕНЕВОГО ВИПАРОВУВАННЯ

Анотація

Золь-гель методом синтезовано нелеговані та леговані порошки оксиду ітрію з різною концентрацією ербію. Їх досліджено методом спектроскопії комбінаційного розсіювання. Чітко спостерігалася еволюція різних піків, пов’язаних з домішкою ербію в структурі оксиду ітрію. Крім того, методом електронно-променевого випаровування (електронного пучка) порошки наносили на скeльця компанії Corning. Зразки піддавали термообробці при температурі 300 і 400 °С протягом 6 год. Досліджено вплив температури термообробки і концентрації легуючої домішки на оптичні властивості. Методом рентгенівської дифракції в Cu-Kα-випромінюванні з додатковим обладнанням для вивчення тонких плівок проаналізовано їх фазові складові. Криві оптичного пропускання плівок вимірювали оптичним спектрофотометром. Методом сканувальної електронної мікроскопії досліджено морфологію поперечного перерізу плівок. Відзначено, що домішки ербію привели до зрушення кривих пропускання в ультрафіолетовій області.