Конференції

МОРФОЛОГІЯ ПОВЕРХНІ І ЕЛЕКТРОФІЗИЧНІ ХАРАКТЕРИСТИКИ ТОВСТИХ ПЛІВОК НА ОСНОВІ SnO2–Sb ПІСЛЯ ЛАЗЕРНОЇ ОБРОБКИ

 
О.В.Паустовський,
 
Б.М.Рудь,
 
А.Г.Гончар,
 
І.І.Тимофєєва,
 
А.О.Рогозінська,
 
Є.Я.Тельников,
 
П.С.Смертенко,
 
М.І.Анякін,
 
В.В.Кременицький,
 
І.В.Захарченко
 

Інститут проблем матеріалознавства ім. І. М. Францевича НАН України , вул. Кржижановського 3, Київ, 03142, Україна
Порошкова металургія - Київ: ІПМ ім.І.М.Францевича НАН України, 2014, #09/10
http://www.materials.kiev.ua/article/1304

Анотація

Вивчено вплив імпульсного лазерного опромінення на структуру і електрофізичні властивості резистивних товстих плівок на основі твердого розчину Sn0,9Sb0,1O2. Методами електронної скануючої, атомної силової мікроскопії і рентгенофазового аналізу досліджено структуру резистивних товстих плівок, а також отримано концентраційний розподіл твердого розчину Sn0,9Sb0,1O2 у поверхневих шарах та по товщині плівки. Опромінення лазерними імпульсами нано- і мікросекундної тривалості змінює вольт-амперні характеристики порівняно зі зразками після лазерної обробки імпульсами мілісекундної тривалості. В інтервалі від 1 до 10–11 В вольт-амперні характеристики стають практично лінійними, що дозволяє визначити оптимальну (α = 1) для роботи резисторів область напруг. Температурний коефіцієнт опору залежить від тривалості імпульсу та його енергії.


АТОМНА СИЛОВА МІКРОСКОПІЯ, ВОЛЬТ-АМПЕРНА ХАРАКТЕРИСТИКА, ВТОРИННІ ЕЛЕКТРОНИ, ЛАЗЕР, РЕЗИСТОР, ТВЕРДИЙ РОЗЧИН, ТЕМПЕРАТУРНИЙ КОЕФІЦІЄНТ ОПОРУ, ТЕПЛОВІ ПОЛЯ