Конференції

ОТРИМАННЯ ПЛІВОК Ti–Al–Si–B–N МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РОЗПИЛЕННЯ ТА ДОСЛІДЖЕННЯ ЇХ МЕХАНІЧНИХ ВЛАСТИВОСТЕЙ

  
І.О.Подчерняєва,
  
І.І.Тимофєєва,
 
О.О.Бутенко
 

Інститут проблем матеріалознавства ім. І. М. Францевича НАН України , вул. Кржижановського 3, Київ, 03142, Україна
Порошкова металургія - Київ: ІПМ ім.І.М.Францевича НАН України, 2014, #05/06
http://www.materials.kiev.ua/article/1234

Анотація

Плівки Ti–Al–Si–B–N осаджували методом магнетронного (на постійному струмі) розпилення композиційної мішені Ti–Al–Si–B–N в аргоновій плазмі. Структуру і фазовий склад плівок вивчали методом рентгенівської дифрактометрії. Хімічні зв’язки в плівках вивчено методом рентгенівської фотоелектронної спектроскопії. Досліджено вплив параметрів осадження та подальшого відпалу в вакуумі на структуру, твердість та механічні властивості плівок. Осаджені в інтервалі температур 200–500 °С та напружень зміщення 0…–250 В плівки мали аморфну структуру, яка зберігалася при відпалі до 800 °С. За вищої температури відпалу у плівках формувалася нанокристалічна структура. Відпал спричинив також підвищення твердості та покращення механічних властивостей плівок.


МАГНЕТРОННЕ РОЗПИЛЕННЯ, МЕХАНІЧНІ ВЛАСТИВОСТІ, НАНОКОМПОЗИТ, СТРУКТУРА