Конференції

Характеристика плазмохімічних покриттів, осаджених із використанням гексаметилдисилазану

   
О.О.Бутенко,
 
С.Н.Дуб,
 
П.М.Литвин,
 
В.А.Мороженко,
 
А.О.Козак
 

Інститут проблем матеріалознавства ім. І. М. Францевича НАН України , вул. Кржижановського 3, Київ, 03142, Україна
Наноструктурне матеріалознавство - Київ: ІПМ ім.І.М.Францевича НАН України, 2011, #4
http://www.materials.kiev.ua/article/1632

Анотація

Досліджені SiCN плівки, отримані методом PECVD (plasma enhanced chemical vapor deposition) із гексаметилдісилазану (HMDSN) в якості прекурсора. Вивчено вплив додаткового азоту в реакційній камері на властивості плівок. Плівки охарактеризовано за допомогою інфрачервоної спектроскопії та спектрів фотолюмінесценції. Також вивчені механічні властивості плівок, а саме нанотвердість і модуль пружності в залежності від потоку азоту.