СПІКАННЯ ТА ЕЛЕКТРИЧНІ ВЛАСТИВОСТІ ITO-МІШЕНЕЙ З ДОДАВАННЯМ Bi₂O₃–ZnO

Анотація

Мішені з оксиду індію-олова (ITO), отримані спіканням під тиском у кисневому середовищі с додаванням Bi₂O₃–ZnO, характеризуються високою густиною та низьким питомим електричним опором. Відносну густину, мікроструктуру та електричні властивості мішені можна регулювати зміною температури спікання (від 1350 до ~1550 °C) и вмісту добавки Bi2O3–ZnO. Результати показали, что температура спікання ITO-мишені з Bi₂O₃–ZnO знижувалась із 1550 до 1400 °C, а максимальна відносна густина (99,3%) и найменший питомий електричний опір (7,32 • 10^–4 Ом • см) були досягнуті при температурі спікання 1400 °С и вмісті 8% (мас.) Bi₂O₃–ZnO. Концентрация носіїв зменшувалась при збільшенні вмісту Bi₂O₃–ZnO та температури спікання: спочатку рухливість зростала, а згодом (вище 1400 °С) знижувалась із зростанням температури спікання.