Конференції

МЕХАНIЧНI I ТРИБОЛОГIЧНI ВЛАСТИВОСТI НАНОКОМПОЗИТНИХ ПОКРИТТIВ НА OCHOBI TIN ТА SICN, ОТРИМАНИХ З ВИКОРИСТАННЯМ МЕТИЛТРИХЛОРСИЛАНУ

   
І.І.Тимофєєва,
 
С.М.ДУБ,
 
П.Л.СКРИПСЬКИЙ
 

Інститут проблем матеріалознавства ім. І. М. Францевича НАН України , вул. Кржижановського 3, Київ, 03142, Україна
Порошкова металургія - Київ: ІПМ ім.І.М.Францевича НАН України, 2008, #01/02
http://www.materials.kiev.ua/article/692

Анотація

Исследованы нанокомпозитные покрытия на основе TiN и SiCN, полученные методом усиленного плазмой газофазового осаждения (plasma enhanced chemical vapor deposition -PECVD) с применением метилтрихлорсилана в качестве одного из исходных материалов. Осажденные при разных режимах нанокомпозитные покрытия демонстрируют четыре типа структур: nc-TiN, nc-TiN/a-SiCN nc-TiNC/nc-TiS2/a-SiCN и nc-TiNC/nc-TiCl2/a-SiCN. Нанотвердость и упругий модуль покрытий достигают 31 и 350 ГПа соответственно. Покрытия на подложках из твердых сплавов, быстрорежущей стали и кремния повышают нанотвердость основы от 10 до 100%. Корреляция между твердостью, или соотношением нанотвердость/упругий модуль, с одной стороны, и износостойкостью - с другой, не обнаружена. Покрытия, осажденные при малой мощности высокочастнотного разряда, демонстрируют хорошую адгезию к кремниевым подложкам. Показано, что использование метилтрихлорсилана как исходного материала, позволяет получить твердые и износостойкие нанокомпозитные покрытия.


ГАЗОФАЗНЕ ОСАДЖЕННЯ, МЕТИЛТРИХЛОРСИЛАН, МІКРОАБРАЗИВНИЙ ЗНОС, НАНОКОМПОЗИТНІ ПОКРИТТЯ НА ОСНОВІ TIN І SICN, НАНОМІЦНІСТЬ, ПЛАЗМА, РЕНТГЕНОГРАФІЧНІ ДОСЛІДЖЕННЯ, ТРИБОЛОГІЧНІ ВЛАСТИВОСТІ